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MEMS测试 - 悬臂梁

2014-09-23 浏览: 390


无标题2.png微悬臂是最简化但也是最多样化的MEMS设备

微悬臂是许多设备和应用程序的基本结构元素

Inertial sensors 惯导器件

RF MEMS 射频开关

Biomedical MEMS 生物微机系统

Energy Harvesting 能量回收系统

Molecule Detection 分子检测

………………

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MEMS悬臂梁:有限元验证

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MEMS悬臂梁的三维测试

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